단지소개




장전단지
* 제1클린룸과 SiC 웨이퍼 전면 가공장비 23종 운영중



부산시 금정구 부산대학로 부산대학교內

( 부지 790㎡ / 연면적 1,339㎡ / 건축면적 485.7㎡ )

장전단지 장비 구축 현황

공정 장비 23종

제 1 클린룸

  • 부산대학교 내에 위치한 부산테크노파크 장전단지 2층에 위치하고 있으며, 클린룸 면적은 485.7m2으로 화이트룸은 클래스100 엘로우룸은 클래스 10으로 운영중
  • 6인치(150mm) SiC 웨이퍼 앞면 가공 및 측정 장비 등 23종이 구축 및 운영 중에 있음