장비안내



반도체 공정 장비  개별 장비 이용 가격임, 위탁생산은 협의에 따름

장비명
제조국
제조사
모델명
요율(건)
비고
1
고온이온주입기
일본 
ULVAC
IH-860PSIC
1,000,000
SiC 특화장비
2
고온어닐링기
일본
TYK
Ailesic-2000
800,000
SiC 특화장비
3
웻스테이션(세정)
대한민국
ULTECH
Aquachem-C
60,000

4
퍼니스(RTP)
미국
AG Associates
HEAT8108
60,000

5
건식식각기(SIC)
일본
SAMCO
RIE-800iPC
300,000
SiC 특화장비
6
스텝퍼
일본
Nikon
NSR-2005i10C
200,000

7
스퍼터
미국
AMAT
Centura5200
100,000

8
건식식각기(금속용)
미국
Lam Research
TCP9600SE
200,000

9
입자계수기
미국
KLA Tencor
Candela CS10
30,000

10
전계방출주사현미경
미국
TESCAN
S8000
100,000

11
웻스테이션(산화막)
대한민국
ULTECH
Aquachem-D
60,000

12
웻스테이션(유기물)
대한민국
ULTECH
Aquachem-E
60,000

13
트랙
대한민국
SVS
MSX-1000
60,000

14
박막두께측정기
대한민국
Ellipso Technology
Elli-SEU
30,000

15
마이크로스코프
일본
OLYMPUS
DSX510-ASU
10,000

16
면저항측정기
대한민국
AiT
CMT-SR2000N
40,000

17
퍼니스(D-Poly)
대한민국
P&T
PF-D63
300,000

18
퍼니스(SiO2)
일본
TYK
Ailesic-1500
500,000
SiC 특화장비
19
에셔
미국
Gasonic
PEP3510
30,000

20
플라즈박막측정기
미국
AMAT
P5000
100,000

21
푸면스퍼터
대한민국
LAT
LIS-150
200,000

22
두께측정기(Warp)
독일
FRT
MICROPROF-200
60,000

23
시디샘
일본
HITACHI
S-8820
100,000

24
후면그라인더
일본
DISCO
DGP-8761
600,000
SiC 특화장비
25
테스터
미국
Keysight
B1505
100,000

26
프로브
미국
Cascade
MAGIC A200e
300,000

27
웻스테이션(금속)
대한민국
ULTECH
Aquachem-H
60,000

28
레이저어닐
일본
SUMITOMO
SWA-20US-M
500,000
SiC 특화장비

신뢰성평가 장비  개별 장비 이용 가격임, 위탁시험은 협의에 따름

장비명
제조국
제조사
모델명
요율(시간)
비고
1
시뮬레이터
미국
Keysight
IC-CAP32,000
2
고온 역전압 시험기일본ESPECHTRB23,000
3
고온 게이트 전압 시험기대한민국두성DS100GB30,000
4
고온 고습 역바이어스 시험기일본ESPECH3TRB27,000
5
파워 싸이클 시험기독일SIEMENSPwT 1800A34,000
6
온도 싸이클 시험기일본ESPECTCC-151W24,000
7
정전기 내성 방전기미국ThermoFisherMK.1TE26,000
8
저온 방치 시험기일본ESPECPG-2J15,000
9
수분 저항력 시험기일본ESPECPSL-4J17,000
10
증기 가압 시험기일본ESPECEHS-412MD27,000
11
솔더 내열성 시험기대한민국Heller Korea1707MK5-E35,000
12
솔더 젖음성 시험기네덜란드XYZTECCondor Sigma17,000
13
간헐 동장 시험기독일SIEMENSPwT2400A42,000
14
공지 초가속 수명 시험기일본ESPECEHS-222MD28,000
15
동적 특성기일본ShibasokuATH6561,000
16
고온 방치 시험기일본ESPECCondor Sigma23,000
17
현미경일본NIKONBW-S50518,000
18
소노 스캔독일OKOSVUE400-P48,000
19
레이져 디캡대한민국MISML-200031,000
20
디캡 스테이션대한민국MISDW-0717,000
21
엑스레이독일WaygateS240 microCT82,000
22
집속 이온빔 장치체코TESCANSOLARIS X144,000