장비안내
반도체 공정 장비 개별 장비 이용 가격임, 위탁생산은 협의에 따름
종 | 장비명 | 제조국 | 제조사 | 모델명 | 요율(건) | 비고 |
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1 | 고온이온주입기 | 일본 | ULVAC | IH-860PSIC | 1,000,000 | SiC 특화장비 |
2 | 고온어닐링기 | 일본 | TYK | Ailesic-2000 | 800,000 | SiC 특화장비 |
3 | 웻스테이션(세정) | 대한민국 | ULTECH | Aquachem-C | 60,000 | |
4 | 퍼니스(RTP) | 미국 | AG Associates | HEAT8108 | 60,000 | |
5 | 건식식각기(SIC) | 일본 | SAMCO | RIE-800iPC | 300,000 | SiC 특화장비 |
6 | 스텝퍼 | 일본 | Nikon | NSR-2005i10C | 200,000 | |
7 | 스퍼터 | 미국 | AMAT | Centura5200 | 100,000 | |
8 | 건식식각기(금속용) | 미국 | Lam Research | TCP9600SE | 200,000 | |
9 | 입자계수기 | 미국 | KLA Tencor | Candela CS10 | 30,000 | |
10 | 전계방출주사현미경 | 미국 | TESCAN | S8000 | 100,000 | |
11 | 웻스테이션(산화막) | 대한민국 | ULTECH | Aquachem-D | 60,000 | |
12 | 웻스테이션(유기물) | 대한민국 | ULTECH | Aquachem-E | 60,000 | |
13 | 트랙 | 대한민국 | SVS | MSX-1000 | 60,000 | |
14 | 박막두께측정기 | 대한민국 | Ellipso Technology | Elli-SEU | 30,000 | |
15 | 마이크로스코프 | 일본 | OLYMPUS | DSX510-ASU | 10,000 | |
16 | 면저항측정기 | 대한민국 | AiT | CMT-SR2000N | 40,000 | |
17 | 퍼니스(D-Poly) | 대한민국 | P&T | PF-D63 | 300,000 | |
18 | 퍼니스(SiO2) | 일본 | TYK | Ailesic-1500 | 500,000 | SiC 특화장비 |
19 | 에셔 | 미국 | Gasonic | PEP3510 | 30,000 | |
20 | 플라즈박막측정기 | 미국 | AMAT | P5000 | 100,000 | |
21 | 푸면스퍼터 | 대한민국 | LAT | LIS-150 | 200,000 | |
22 | 두께측정기(Warp) | 독일 | FRT | MICROPROF-200 | 60,000 | |
23 | 시디샘 | 일본 | HITACHI | S-8820 | 100,000 | |
24 | 후면그라인더 | 일본 | DISCO | DGP-8761 | 600,000 | SiC 특화장비 |
25 | 테스터 | 미국 | Keysight | B1505 | 100,000 | |
26 | 프로브 | 미국 | Cascade | MAGIC A200e | 300,000 | |
27 | 웻스테이션(금속) | 대한민국 | ULTECH | Aquachem-H | 60,000 | |
28 | 레이저어닐 | 일본 | SUMITOMO | SWA-20US-M | 500,000 | SiC 특화장비 |
신뢰성평가 장비 개별 장비 이용 가격임, 위탁시험은 협의에 따름
종 | 장비명 | 제조국 | 제조사 | 모델명 | 요율(시간) | 비고 |
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1 | 시뮬레이터 | 미국 | Keysight | IC-CAP | 32,000 | |
2 | 고온 역전압 시험기 | 일본 | ESPEC | HTRB | 23,000 | |
3 | 고온 게이트 전압 시험기 | 대한민국 | 두성 | DS100GB | 30,000 | |
4 | 고온 고습 역바이어스 시험기 | 일본 | ESPEC | H3TRB | 27,000 | |
5 | 파워 싸이클 시험기 | 독일 | SIEMENS | PwT 1800A | 34,000 | |
6 | 온도 싸이클 시험기 | 일본 | ESPEC | TCC-151W | 24,000 | |
7 | 정전기 내성 방전기 | 미국 | ThermoFisher | MK.1TE | 26,000 | |
8 | 저온 방치 시험기 | 일본 | ESPEC | PG-2J | 15,000 | |
9 | 수분 저항력 시험기 | 일본 | ESPEC | PSL-4J | 17,000 | |
10 | 증기 가압 시험기 | 일본 | ESPEC | EHS-412MD | 27,000 | |
11 | 솔더 내열성 시험기 | 대한민국 | Heller Korea | 1707MK5-E | 35,000 | |
12 | 솔더 젖음성 시험기 | 네덜란드 | XYZTEC | Condor Sigma | 17,000 | |
13 | 간헐 동장 시험기 | 독일 | SIEMENS | PwT2400A | 42,000 | |
14 | 공지 초가속 수명 시험기 | 일본 | ESPEC | EHS-222MD | 28,000 | |
15 | 동적 특성기 | 일본 | Shibasoku | ATH65 | 61,000 | |
16 | 고온 방치 시험기 | 일본 | ESPEC | Condor Sigma | 23,000 | |
17 | 현미경 | 일본 | NIKON | BW-S505 | 18,000 | |
18 | 소노 스캔 | 독일 | OKOS | VUE400-P | 48,000 | |
19 | 레이져 디캡 | 대한민국 | MIS | ML-2000 | 31,000 | |
20 | 디캡 스테이션 | 대한민국 | MIS | DW-07 | 17,000 | |
21 | 엑스레이 | 독일 | Waygate | S240 microCT | 82,000 | |
22 | 집속 이온빔 장치 | 체코 | TESCAN | SOLARIS X | 144,000 |